此系列洁净室机器人符合 ISO 14644-1 标准：SCR 版本达到2 级洁净等级，CR 版本达到 4 级洁净等级。机器人采用全封闭式机械臂设计，表面覆以高光泽聚氨酯涂层，在实现高灵活度与高精度操作的同时，有效控制颗粒释放。

与其他晶圆机器人相比， SCR 与 CR 系列在灵活性、负载能力及工作半径方面更具优势，可全面满足晶圆、光掩模、载具及料盒（cassette）等搬运应用的严苛要求。紧凑型机械臂结构设计亦有助于节省专用设备中的宝贵空间。

易于清洁

·表面光滑处理

无滞留区域设计

·采用六角平头密封螺钉*

实现更高洁净等级保障

·专用喷涂与装配工艺

极低颗粒释放（符合 ISO 2/4 级洁净标准）

·专用洁净室密封唇设计

* TX2-60/90 CR 版本不适用。

主要洁净室应用

半导体行业为满足半导体行业的机器人需求，Stäubli 提供超高性能的洁净室机器人臂系列，专为高度敏感的应用场景设计。

制药与医疗保健我们的机器人将卓越的卫生性能与高精度相结合，完全符合医疗保健及生命科学行业严苛的要求。